Vakum Sistemleri

Firmamız, üretim teknolojisini geliştirdiği özel ince film kaplamalar için amaca yönelik ArGe ve ÜrGe ölçeğinde vakum sistemlerinin ve bileşenlerinin tasarımını ve üretimini gerçekleştirmektedir.

Hybrid-SpEv

Sputter ve termal buharlaştırma kaynaklarına sahip ince film kaplama sistemi. 

Geniş Alan Kaplama Sistemi

•ÜrGe'ye uygun ArGe için özel tasarım 

•Vakum bileşenleri: %100 yerli 

•8 adet 2 inç kaynak ile 40cm x 40 cm çok katlı film kaplama. 

•Ar ya da O2 plazma temizlik odası ile yüzey temizliği.

Vakum Sistemi Bileşenleri

Dairesel ve Dairesel Magnetron Sputter Kaynakları

Alttaş ısıtıcılar

Termal buharlaştırma kaynakları

Endüstriyel Ölçek Doğrusal Sputter Kaynağı

40 cm x10 cm  Hedef Alanı